發(fā)布時間：2023-06-29 21:41:56 人氣：7433
? ?長期服務(wù)于電子行業(yè)的潔凈室，無塵車間建設(shè)中，現(xiàn)對LED芯片的生產(chǎn)車間要不要
做恒溫恒濕無塵車間，具體工藝怎么樣？無塵車間的溫濕度，潔凈度等具體要求又是多少
進行實際解析：
LED芯片的制造工藝流程?
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? ? ?LED芯片的制造工藝流程： 外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→
平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光
刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。
? ? 具體要不要做無塵車間決取于你在以上LED芯片的上游還是下游，具體的生產(chǎn)工藝包括哪些？像
我們給**LED芯片客戶無塵車間工藝里面有焊接或者錫膏或者有光刻曝光工藝的都會受溫濕
度影響的，因為溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。
溫度高會增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點不光澤等現(xiàn)象。
濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時產(chǎn)生氣空，飛漸，
連焊等現(xiàn)象。
? ?工程部在給客戶大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱
膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必
須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半
導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上
會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
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